Применение вольфрамовых и молибденовых продуктов в производстве оборудования для осаждения из паровой фазы
Технология осаждения из паровой фазы — это новая технология, которая использует физические и химические процессы в газовой фазе для изменения состава поверхности детали, тем самым формируя металлическое или компаундное покрытие со специальными свойствами (например, сверхтвердым износостойким слоем или особыми оптическими и электрическими свойствами). ) на поверхности. Технология осаждения из паровой фазы в основном включает две категории: физическое осаждение из паровой фазы (PVD) и химическое осаждение из паровой фазы (CVD).
В основном это такие процессы, как вакуумное испарение, вакуумное напыление и химическое осаждение металлоорганических соединений из паровой фазы (MOCVD).
Металлические изделия из вольфрама и молибдена широко используются в различных типах оборудования для осаждения из паровой фазы, например:
- Из вольфрама и молибдена часто изготавливают различные типы вольфрамовых и молибденовых мишеней (включая плоские мишени и вращающиеся мишени), которые используются в области нанесения покрытий магнетронным распылением.
- Вольфрамовые лодочки, молибденовые лодочки, вольфрамовые тигли, молибденовые тигли и вольфрамовые нити для вакуумной металлизации часто используются в области вакуумного нанесения покрытий.
- В нагревателях MOCVD часто используются вольфрамовые нагревательные элементы, наружные кольца, кронштейны и т. д.
Компания Luoyang Rare Metal Research Material Co., Ltd может изготовить и обработать различные спецификации вольфрамовых и молибденовых изделий, таких как мишени, лодки, тигли, нагревательные элементы и т. д. в соответствии с требованиями.