Молибденовая цель

Молибденовая цель

1. Бренд: Xzy
2. Каталог: продукт молибдена
3. Материал: чистый молибден, сплав молибдена
4. Чистота: 3N5, МО больше или равна 99,95%
5. Плотность: 10,2 г/см3
6. Форма: диск, круглый, квадратный, трубка, тарелка, бар, полоса
7. Тип: вращающиеся мишени, плоские цели, круглая цель, цель пластины, плоская цель, индивидуальная цель с нерегулярной формой
8. Поверхность: полированная, яркая металлическая блеск, гладкий
9. И CVD, APS, VPS Topence Technology.
10. Техника производства: спекание, корова, прокатывание, отжиг, термообработка, обработка.
Отправить запрос
Внедрение продукции

МОЛИБДУМА, также известная как мишень, разбросающая молибдена, представляет собой металлическую мишень, изготовленную из металлического молибдена (МО) материала. Это один из основных материалов, используемых для изготовления тонких пленок. В основном он используется в процессе покрытия распыления в технологии физического осаждения паров (PVD). Он также подходит для всех систем плоского покрытия и ротажного покрытия.

 

Молибден обладает высокой температурой плавления, высокой проводимостью, низким специфическим импедансом, хорошим коррозионным сопротивлением и хорошими характеристиками окружающей среды, так что мишень для распыления молибдена может образовывать молибденовое покрытие на различных субстратах посредством процесса пропасти магнитрона. Это молибденовое покрытие широко используется в электронных компонентах и ​​электронных продуктах.

 

Luoyang Rare Metal Research Material Co., Ltd специализируется на производстве различных видов целей MO, включая плоские мишени и вращающиеся цели, покрывая мишени для разбросания молибдена и мишени анода молибдена, чтобы соответствовать различным типам оборудования для распыления магнетрона. Все продукты будут настроены в соответствии с вашими требованиями.

 

Цели, которые мы производим, имеют высокую чистоту, содержание с низкой примесей, высокую плотность, тонкую и равномерно распределенную размер зерна и наименьший средний размер зерна, с превосходной производительностью. В то же время мы можем выполнить массовое производство за короткое время, и время доставки гарантировано.

 

 

Спецификация продукта

 

 

Спецификация мишени молибдена

Диапазон обработки

Толщина/диаметр (мм)

Ширина (мм)

Длина (мм)

Шероховатость (мм)

G4. 5-11. 5 Цель

1.5-40

1.0-2500.00

1.0-4000.00

Ra 0. 2-6. 4

МОЛИБДИНА ТРУБАНА МАРСА

120-170

/

3500

Ra 0. 2-6. 4

 

 

Особенности производительности продукта

 

 

1) Высокая чистота:
Чистота цели MO является ключевым показателем его производительности. Вообще говоря, чистота, которую наша цель MO может достичь 99,95% или даже выше. Высокая чистота обеспечивает минимизацию примесей во время процесса осаждения пленки, тем самым улучшая качество конечного продукта.


2) Высокая плотность:
Плотность, близкая к теоретической плотности молибдена (10,22 г/см сегодня) является признаком высококачественной мили-мишени. Более высокая плотность указывает на то, что в материале меньше пустот, и структура является компактной, что имеет решающее значение для улучшения срока службы и стабильности целевого материала.


3) Высокая теплопроводность:
Теплопроводность молибдена составляет около 138 Вт/м · к. Высокая теплопроводность очень важна для контроля температуры цели во время высокоскоростного покрытия, что помогает предотвратить перегрев и структурное повреждение цели.


4) Низкий коэффициент термического расширения:
Молибден имеет низкий коэффициент термического расширения около 4,8 × 10^-6 / степень. Эта особенность означает, что продукт обладает хорошей размерной стабильностью при изменениях температуры, что помогает поддерживать последовательность и точность процесса осаждения пленки.


5) Высокая твердость и сила:
Молибден имеет твердость Vickers около 2500 HV и обладает высокой механической прочностью. Это позволяет продукту противостоять механическому воздействию во время высокоскоростного покрытия.


6) Хорошая поверхностная плоскость и шероховатость:
Поверхностная плоскостность и шероховатость также являются важными параметрами для оценки качества целей МО. Хорошая обработка поверхности может уменьшить генерацию частиц во время использования цели и улучшить однородность и качество депонированной пленки.

 

Свойства мишени молибдена

Химический символ

МО

Атомный номер

42

Атомный вес

95,96 г/моль

Кристаллическая структура

АЗ, ориентированное на кузов кубическое (BCC)

Чистота

99,95% мин

Плотность /г · см-3

10,2 г/куб

Точка плавления

2617. 0 степень (2890,15 К, 4742,6 градуса F)

Точка кипения

4612. 0 степень (4885,15 К, 8333,6 градуса F)

Теплопроводность

138 W/m x K

Коэффициент термического расширения/k-1

(0-1600 степень): 4,8 × 10^-6/ степень

Виккерс твердость

2500 HV

Цвет/внешний вид

Серебряный белый, металлический

Соотношение z

0.257

Разбрызгивание

Ток

Максимальная плотность мощности (ватты/квадратный дюйм)

150

Тип связи

Индий, эластомер

Удельное тепло

0. 276 кДж/кг х k на 20 градусов

Удельная скрытая теплота слияния

270 кДж/кг (оценка значения)

Тепло сгорания

7,58 МДж/кг

Электрическое удельное сопротивление:

53,4 нОм · м при 20 градусах

Электрическая проводимость

34% IACS в 0 степень

Урожайность

(1600 градусов): 50 МПа

Низкое давление паров

(2151 градуса): 4,48x10⁻⁷PA

 

 

Приложение продукта

 

 

МАТЕРИАЛА МОЛИБДУМА МАТЕРИАЛ МАТЕРИАЛ НЕБОТРЕДИВАЕТ ТОННУЮ Пленку на подложке. Это широко используется в:


- Производство полупроводников, электронные компоненты и микроэлектроника, интегрированные схемы, хранение информации, лазерное хранение, электронные устройства управления.
- Проводящее стекло, оптическое стекло, индустрия стекла с покрытием (в основном, включая архитектурное стекло, автомобильное стекло, оптическое пленочное стекло и т. Д.)
- Ионное покрытие и другие отрасли промышленности.
- Тонкоплестные солнечные фотоэлектрические клетки.
- Медицинская визуализация.
- Плоские панели, жидкокристаллические дисплеи, сенсорные экраны.
- Автомобильные огни, декоративные покрытия и инструменты и покрытия для плесени и т. Д.
-Его также можно использовать в материалах с износостойкой, высокотемпературными коррозионными материалами и т. Д.

 

molybdenum target application

 

 

Почему мы выбираем?

 

 

1) Высокая чистота
Мы выбираем молибденовый порошок с высокой точкой в ​​качестве сырья; Чистота превышает 99,95%, и введение элементов примесей строго контролируется в процессе подготовки. Это гарантирует, что плюсневый фильм имеет хорошее выступление.


2) Высокая плотность
Мы выбираем технологию формирования и спекания, которая может достичь быстрого уплотнения, а относительная плотность целевого распыления превышает 98%. Чтобы обеспечить низкую пористость цели, цель с более высокой плотностью может уменьшить всплеск частиц пленки во время процесса покрытия, тем самым улучшая качество пленки.


3) Малый и равномерный размер зерна
Цель молибдена, которую мы производим, имеет более равномерное распределение микроструктуры, может образовать определенную ориентацию кристаллов, а зерна невелики и однородны. Скорость распыления целевого материала с тонкими зернами быстрее, чем у грубых зерен, а целевой материал с меньшей разницей в размере зерна имеет более однородное распределение нанесенной пленки. Производительные характеристики цели MO лучше.


4) широкий спектр целевых материалов на выбор
Существует много типов мишеней на молибдена, которые мы можем предоставить вам. Согласно форме, их можно разделить на круглые мишени, квадратные цели, целевые базы и целевые трубки. Согласно классификации материалов, их можно разделить на чистые мишени моли и мишени сплавов Moloy.


5) Полный набор производственного оборудования
Luoyang Rare Metal Research Material Co., Ltd имеет полный набор оборудования, такого как крупное изостатическое прессование, большие вакуумные и газовые спекания, крупные фрезерные машины с ЧПУ и крупные шлифовальные машины с ЧПУ, а также зрелые производственные процессы, которые могут массово производить различные типы продуктов.


6) Полное испытательное оборудование
Мы можем предоставить полный набор оборудования для тестирования физического свойства, такого как плотность, твердость, шероховатость поверхности и т. Д. Следовательно, при использовании тестировщиков вихревого тока и ультразвукового оборудования, возможное внутреннее повреждение продукта, такого как пор и трещины, можно строго проверить, чтобы обеспечить высокое качество продукта.

 

Элемент

Плотность мощности (w/cm2)

SUBStrateTимпература( степень )

FilM Формирование

Скорость (· м/мин)

SлицREsistivity@2000a (μomcm)

МО ЦЕЛЬ

5.0

100.0

342.8

11.7

 

Продукт продукта

 

 

Милибденовые мишени производятся с помощью порошковой металлургии.

Во -первых, порошок молибдена экранируют и загружают в форму для прессования.

После нажатия и формирования он спечен в средней частотной индукционной печи или в вакуумной печи, а затем свернута и обработана. Наконец, он обрабатывается в готовый целевой материал, который соответствует размеру и требованиям к поверхности клиента.


Порошковая металлургия заставляет продукты иметь высокую плотность, хорошую однородность и отличную производительность в микроструктуре, а также имеет характеристики короткого производственного цикла, нескольких процессов, низкого потребления энергии и небольших потерь материала.

 

Molybdenum and Tungsten Production Flow Chart

 

 

Принцип использования мишени молибдена

 

 

Мильц -молибдена, в основном используется для магнитронного распыляющего покрытия, которое представляет собой новый метод физического осаждения из паров (PVD). Ортогональное магнитное поле и электрическое поле добавляются между разрывкой мишенью (катод) и анодом, и требуемый инертный газ (обычно AR -газ) заполняется в камере с высокой вакуумом. Под действием электрического поля газ AR ионизируется на положительные ионы и электроны. Определенное отрицательное высокое напряжение применяется к цели. На электроны, излучаемые из цели, влияют магнитное поле, и вероятность ионизации рабочего газа увеличивается, образуя плазму высокой плотности вблизи катода. Ионы АР ускоряются, чтобы летать на целевую поверхность под действием силы Лоренца, бомбардируя целевую поверхность на очень высокой скорости, так что атомы, разбросанные на цель, следуют принципу преобразования импульса и летят в подложку с более высокой кинетической энергией, чтобы сформировать пленку.

 

 

горячая этикетка : Molybdenum Target, Китай -молибденовые производители целей, поставщики, фабрика, Пользовательский сервис лотка молибдена, Молибденовый лоток тяжелый, Молибденовая поверхность поверхности поверхности, лоток молибдена термически стабильный, молибденовый вакуум совместим с, трубка из чистого молибдена

Отправить запрос

whatsapp

skype

Отправить по электронной почте

Запрос